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氣體管路是實(shí)驗(yàn)室氣體管道工程的主體部分之一，在鋪設(shè)施工時(shí)要嚴(yán)格遵循相關(guān)技術(shù)要求及標(biāo)準(zhǔn)，才能保證使用過(guò)程中的安全穩(wěn)定。下面四川企惠就來(lái)為大家詳細(xì)介紹下，在實(shí)驗(yàn)室氣體管道工程施工中，管路鋪設(shè)的技術(shù)要求?！ ?shí)驗(yàn)室集中供氣的管道都要使用高質(zhì)量、完全退火型、無(wú)縫連接的不銹鋼管(BA級(jí))，某些對(duì)氣體純度要求不高的地方，如通風(fēng)柜，可以使用銅管。 氣體管道不得和電纜、導(dǎo)電線(xiàn)路同架鋪設(shè)?！ ∫兹家妆瑲怏w，如乙...
2023-08
管道的安裝連接是實(shí)驗(yàn)室氣體管道工程的關(guān)鍵施工部分，連接方法的正確與否關(guān)系到整個(gè)工程的質(zhì)量。目前氣體管道的連接方法主要有螺紋連接、法蘭連接和焊接連接，每種連接方法都有其適用的場(chǎng)景，是由輸送氣體的性質(zhì)、壓力、溫度以及管道材質(zhì)、尺寸、安裝場(chǎng)所等因素決定，下面普萊斯特就來(lái)為大家詳細(xì)介紹實(shí)驗(yàn)室氣體管道的三種連接方法?！ ∫?、螺紋連接 螺紋連接主要適用于小直徑的管道，連接時(shí)，要在螺紋連接部分纏上氟塑料密...
2023-08
一般工藝氣體都是儲(chǔ)存在鋼瓶中，鋼瓶作為氣源相對(duì)方便使用。過(guò)去無(wú)論是在半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間，抑或是科研單位的實(shí)驗(yàn)室，鋼瓶總是出現(xiàn)在需要的地方，而沒(méi)有一個(gè)統(tǒng)一的規(guī)劃布置。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展，對(duì)其配套項(xiàng)目也提出了更高要求。比如在集中供氣系統(tǒng)中一般要有專(zhuān)用裝置儲(chǔ)存鋼瓶，在過(guò)去十多年中，蓋斯帕克沒(méi)有發(fā)明集中供氣之前，特種氣體供應(yīng)沒(méi)有形成有效的系統(tǒng)，鋼瓶凌亂，管理混亂，不相容氣體混放等問(wèn)題比較嚴(yán)重，極大的...
2023-07
特種供氣系統(tǒng)報(bào)警系統(tǒng)泄漏的應(yīng)急處理及從業(yè)人員安全注意事項(xiàng) 專(zhuān)用氣瓶裝入專(zhuān)用氣柜，經(jīng)專(zhuān)用氣柜降壓過(guò)濾后，送入車(chē)間VMB/VMP（有毒氣體用VMB，無(wú)毒氣體用VMP）。特殊氣體進(jìn)入VMB/VMP后，根據(jù)設(shè)備所需壓力再次降壓，達(dá)到設(shè)備所需壓力。最后，降壓后的特種氣體被分成若干支路，送入相應(yīng)的設(shè)備。 特種供氣系統(tǒng)報(bào)警系統(tǒng)泄漏的應(yīng)急處理及從業(yè)人員安全注意事項(xiàng)特殊氣體報(bào)警系統(tǒng)對(duì)于有毒氣體，本設(shè)備配有專(zhuān)門(mén)...
2023-07
實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)的驗(yàn)收過(guò)程。這是非常重要的一步，需要確保實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)的質(zhì)量和安全性?！ ∈紫?，我們需要審查實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)文件，確保其符合國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范。然后，我們還需要檢查實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)的安裝質(zhì)量，包括管道連接是否牢固、調(diào)節(jié)器和流量計(jì)的精度是否符合要求等?！ 〗酉聛?lái)，對(duì)實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)中的氣體進(jìn)行純度檢測(cè)，確保其符合實(shí)驗(yàn)的要求。同時(shí)，對(duì)實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)中的氣體壓力進(jìn)行穩(wěn)定性檢測(cè)，確保其穩(wěn)...
2023-07
實(shí)驗(yàn)室氣體管路系統(tǒng)是實(shí)驗(yàn)室中必不可少的設(shè)備之一，它主要用于將氣體從氣源輸送到實(shí)驗(yàn)器材內(nèi)部，是實(shí)驗(yàn)研究中不可或缺的一個(gè)環(huán)節(jié)。本文將從多個(gè)角度對(duì)實(shí)驗(yàn)室氣體管路系統(tǒng)進(jìn)行概述?！ ∫弧⒔M成結(jié)構(gòu) 實(shí)驗(yàn)室氣體管路系統(tǒng)主要由氣源、氣體輸送管路、氣體處理裝置和實(shí)驗(yàn)器材等組成。氣源包括壓縮空氣、氣瓶、液氮或液氧等，氣體輸送管路分為主管道和分支管道，氣體處理裝置包括減壓閥、過(guò)濾器、調(diào)壓器和調(diào)流器等，實(shí)驗(yàn)器材則包...
2023-07
管子、管子聯(lián)接件、閥門(mén)和設(shè)備上的進(jìn)出接管間的聯(lián)接方法，由氣體的性質(zhì)、壓力和溫度以及管子的材質(zhì)、尺寸和安裝場(chǎng)所等因素決定，主要有螺紋聯(lián)接、法蘭聯(lián)接、承插聯(lián)接和焊接等四種方法?！ ?、螺紋聯(lián)接 主要適用于小直徑管道。聯(lián)接時(shí)，一般要在螺紋聯(lián)接部分纏上氟塑料密封帶，或涂上厚漆、繞上麻絲等密封材料，以防止泄漏。在1.6兆帕以上壓力時(shí)，一般在管子端面加墊片密封。這種聯(lián)接方法簡(jiǎn)單，可以拆卸重裝，但須在管道的適...
2023-07
近年來(lái)以大規(guī)模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求，使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重視。以下針對(duì)高純氣體輸送從選材到施工以及驗(yàn)收、日常管理作個(gè)簡(jiǎn)單的概述。 常見(jiàn)氣體的種類(lèi) 電子行業(yè)中常見(jiàn)氣體的分類(lèi)： 普通氣體，也稱(chēng)大宗氣體(Bulk gas)：氫氣(H2)、氮?dú)?N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等 特種氣體(Specialty gas)主要有SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL...
2023-07
電子特氣管道系統(tǒng)配管及附件材質(zhì)的選擇 選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。目前超大規(guī)模集成電路前工序高純氣體輸送系統(tǒng)管道材料采用不銹鋼光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不銹鋼電拋光管(SS316L-EP)等，但是對(duì)要求控制高純氣體中總雜質(zhì)含量≤1.01.0×10-6及以下的管材應(yīng)用SS316L-EP管?！ ∽ⅲ孩俟苈沸褪揭詺怏w特性設(shè)計(jì)，惰性氣體使用一般的單層管，作為制程用的反應(yīng)氣體，則選用高級(jí)別的SS...
2023-06
電子特氣管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要點(diǎn)： 1.對(duì)于不同特性的氣體，要規(guī)劃獨(dú)立的供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。 2.管路設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離，距離越長(zhǎng)，成本越高，風(fēng)險(xiǎn)也越高，通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于...
2023-06
